半導体、FPDの製造に用いられる特殊ガスは、温度の低下に伴い酸化・窒化する性質があるため、使用後、排ガス処理装置へ送る配管内においても、一定の温度を保ったまま排出しないと、酸化・窒化した固形物が配管内に残存し、配管をふさいでしまいます。 テクノフレックスのヒータージャケットシステムは、こうした特殊ガスの配管設備における温度調節を低価格で実現し、長期のランニングによる配管洗浄の手間といったメンテナンスコストの削減に貢献します。

真空断熱・水による温調・ヒーターによる温調など、ご依頼により各種製品への対応も可能です。

1.

PIDコントローラー1個につき、電源線と熱電対用ケーブルを各1本接続し、コネクターによって各ヒータージャケットへとつなぎます。

2.

各ヒータージャケットは、1個のコネクターの接続によって、並列につながれます。