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VGF 真空フランジ形 (JIS)

VGF 真空フランジ形 (JIS)VGF 真空フランジ形 (JIS) 図面

特徴

・標準品はVG固定、VF回転となります。
・真空フランジはVG、VFとなります。
・フランジ規格 JIS B 2290 真空フランジ
・VF側を固定にする場合はご指示願います。

ヘリウムリーク量 5×10-8 Pa・m3/s以下
製作全長 MAX. 3000mm
標準寸法 500, 1000 (mm)
形式記入例
VGF 25 S - 500 - Y
形式 呼径 ソフト/ハード   全長L   材質記号M

・標準以外の寸法も製作可能です。

材質

SS=Stainless Steel
材質記号 X Y Z
チューブ 304 SS 316L SS 316L SS
フランジ 304 SS 304 SS 316L SS

ソフトタイプ チューブ形式S

単位:(mm)
呼径 形式番号 内径
(I.D)
外径
(O.D)
A
B
C1
C2
T
N-ΦH
最小曲げ半径
縮み率(%)※
20 A VGF 20S-L-M 20.4 30.5 60 80 34 50 8 4-10 70 4
25 A VGF 25S-L-M 26.0 36.0 70 90 54 50 8 4-10 90 4
40 A VGF 40S-L-M 40.0 55.0 85 105 55 50 10 4-10 120 8
50 A VGF 50S-L-M 54.0 70.0 100 120 55 50 10 4-10 140 11

●呼径20Aは材質記号 X(304 SS)のみとなります。

ハードタイプ チューブ形式H

単位:(mm)
呼径 形式番号 内径
(I.D)
外径
(O.D)
A
B
C1
C2
T
N-ΦH
最小曲げ半径
縮み率(%)※
25 A VGF 25H-L-M 26.5 37.5 70 90 54 50 8 4-10 90 2
40 A VGF 40H-L-M 40.5 55.5 85 105 55 50 10 4-10 120 2
50 A VGF 50H-L-M 54.5 72.5 100 120 55 50 10 4-10 140 4
65 A VGF 65H-L-M 64.0 86.0 120 145 55 50 10 4-12 150 6
80 A VGF 80H-L-M 77.0 99.0 135 160 56 50 12 4-12 220 7
100 A VGF 100H-L-M 101.5 125.5 160 185 56 50 12 8-12 280 10
150 A VGF 150H-L-M 150.5 178.5 210 235 56 50 12 8-12 500 10
200 A VGF 200H-L-M 200.0 231.0 270 300 58 50 16 8-15 750 10

※縮み率=-0.1MPaにおける自由長からのチューブ縮み率(%)を示す。

※製品改良のため仕様は予告なく変更することがあります。