VIS 真空フランジ形 (ISO)
| ヘリウムリーク量 | 5×10-8 Pa・m3/s以下 |
| 製作全長 | MAX. 3000mm |
材質
SS=Stainless Steel
| 材質記号 | X | Y | Z | |
| チューブ | 304 SS | 316L SS | 316L SS | |
| フランジ | 304 SS | 304 SS | 316L SS | |
ハードタイプ チューブ形式H
単位：(mm)
| 呼径 | 形式番号 | 内径 (I.D) |
外径 (O.D) |
A |
B |
C |
T |
最小曲げ半径 |
縮み率(%)※ |
| ISO 63 | VIS 63H-L-M | 64.0 | 86.0 | 70 | 95 | 57 | 12 | 150 | 6 |
| ISO 80 | VIS 80H-L-M | 77.0 | 99.0 | 83 | 110 | 57 | 12 | 220 | 7 |
| ISO 100 | VIS 100H-L-M | 101.5 | 125.5 | 102 | 130 | 57 | 12 | 280 | 10 |
| ISO 160 | VIS 160H-L-M | 150.5 | 178.5 | 153 | 180 | 57 | 12 | 500 | 10 |
| ISO 200 | VIS 200H-L-M | 200.0 | 231.0 | 213 | 240 | 57 | 12 | 750 | 10 |
※縮み率=-0.1MPaにおける自由長からのチューブ縮み率（%）を示す。
※製品改良のため仕様は予告なく変更することがあります。
